AL120-12晶圓搬送機詳細介紹：
AL120-12晶圓搬送機對應(yīng)可使用FOUP（裝載口）和FOSB，適用于低成本的后期檢查。安全且符合人體工程學(xué)的設(shè)計確保了操作人員在搬送晶圓時（包括薄晶圓和變形晶圓）的效率和安全。
人機工程學(xué)設(shè)計，操作方便
?可以自由設(shè)置的檢查模式，在設(shè)計上考慮了后道工程中的操作性，尤為重視設(shè)備的操作簡便性。
?分別對應(yīng)FOUP(Load Port）和FOSB的兩種機型。
 專用宏觀照明裝置 |
為異物、傷痕、膜斑、散焦的發(fā)現(xiàn)提供了理想的照明方式 高亮度金屬鹵化物光源與光纖照明的組合，實現(xiàn)了300 mm晶圓的冷光源照射。 |
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